明電舍(MEIDENSHA)真空電容器
真空電容器MEIVAC的特征是
高耐電壓 真空的耐電壓高,易于實現小型化;
低損失 可以適用于高RF頻率;
大電流通電 無整流子結構形式,適合大電流;
高信賴性 具有自我恢復性,可以承受瞬間過電壓;
規格
形式 SCV-155M SCV-510M SCV-514M
高峰試驗電壓 [kVp] 15 5 5
靜電容量[pF] 50-500 50-1000 90-1400
RF動作電壓 [kVp] 9a 3 3
直線可變性 (pF/N) 42±4
(65pF 以上) 88±6
(80pF 以上) 115±8
(150pF 以上)
轉速(回) 12±1 12±1 12±1
最大容許電流 [Arms]
(at 13.56MHz) 100 100 100
回轉轉矩(N?cm)
(kgf?cm) 24.5
2.5 24.5
2.5 24.5
2.5
重量(kg)
尺寸(長度×直徑) (mm)
1.3
140×φ73 1.35
140×φ73 1.4
140×φ73
真空電容器 MEIVAC
MEIVAC真空電容器系列,是基于明電舍的真空技術而開發的一種真空電容器。
真空電容器有以下用途
1 作為半導體薄膜制造設備的阻抗整合器
2 通信器材的發報線路,同調回路
3 誘電加熱設備的共振回路
4 各種高頻率電源的電壓增幅回路
近年來,由于半導體產業的發展,真空電容器的用途擴大至CVD,蝕刻,滴濺設備等半導體薄膜制造設備阻抗整合應用領域。
真空可變電容器
真空可變電容器是通過移動真空容器內的電極而實現靜電容量的變化的電容器。
除了了裝置115MM標準的型號,還搭載了耐高壓特殊電極的黃金型號,同時通過風箱構造以及增強材質的大電流低扭矩型(H系列)。
標準型特點
1 壽命長
采用高強度的不銹鋼風箱,實現可變范圍二分之一以下的風箱壽命達100萬循環。同時通過高強度特殊螺釘構造,在可變范圍二分之一的情況下實現總回轉數1000萬以上的長壽命。
2微型化
陶瓷中心栓與外圍共振器一體化從而是微型化得以實現。
統一設為全長140MM(裝置標準115MM),容易實現機器安裝時的可更換性。
強電流低扭矩型特點
強電流通電
風扇采用銅合金新材料,可以實現強電流通電。(強電流規格:空冷110Arms、130Arms、150Arms、
160Arms)
低扭矩
H系列內部構造得到改良,小于18N.cm的低扭矩使得驅動馬達的微型化得以實現。
長壽命
采用高強度不銹鋼風箱,通過可變范圍二分之一以下的風箱壽命100萬回轉,以及高強度特殊螺釘構造,能夠實現可變范圍二分之一的總回轉達到1500萬以上的超長壽命。
真空固定電容器
真空固定電容器的誘導體為真空,使用損耗較低的陶瓷作為絕緣體,極大的抑制了損耗系數。從而使電容器即實現了微型化,又能耐高壓和承受強大電流。
特點
耐高壓
由于絕緣體是真空,絕緣體能承受很高的電壓,即使在高電壓回路中也安然無恙。
低損耗
真空誘電體能極大降低損耗。誘電體的損害只出現在構成真空容器的電容器兩端的絕緣陶瓷以及導航用陶瓷。
微型化
通過采用耐高壓的特殊電極實現微型化。
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